產品簡介
PRODUCT INTRODUCTION
全自動LED晶圓清洗機
C2000系列是針對4 inch LED 晶圓的全自動清洗設備 可依據客戶需求定制上下料方式和清洗工藝。
產品描述
產品特點:
1.清洗工藝:雙清洗腔體,毛刷清洗加二流體沖洗,甩干;
2.4工位,自動上下料
3.兼容大小環;
4.片環或產品條形碼讀取功能(BCR);
5.SECS GEM功能;
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