產品特點：

1.Barcode 掃描調程

2.雙loadport或cassette plate.支持Cassettte，FOUP mapping

3.雙OCR，支持晶圓正反面Wafer ID讀取比對

4.CCD Notch定位

5.適用于Open cassette,Foup或Mounted后frame cassette

6.兼容8&12 inch wafer

7.選擇Mounted后frame cassette作業方式，可集成晶圓自動貼標功能。

8.SECS/GEM 

9.Wafer Map自動調取比對

10.wafer ID，識別標識，NG die刻印

11.THG laser 無熱應力損傷,高發色刻印

12.高精度，高效率